A study on the Ti-Al-X-N(X-Cr, Si, V and B) coatings deposited by magnetron sputtering process with single alloying targets

이한찬; 편진호; 신백균; 문경일

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이한찬 (한국생산기술연구원) 편진호 (한국생산기술연구원) 신백균 (인하대학교) 문경일 (한국생산기술연구원)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제48회 동계정기학술대회초록집

발행연도: 2015.2

수록면: 219 - 219 (1page)

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2015

A study on the Ti-Al-X-N(X-Cr, Si, V and B) coatings deposited by magnetron sputtering process with single alloying targets

이한찬 , 편진호 , 신백균 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2015.02 학술대회자료

A study on the effect of Cu amount thin films prepared by magnetron sputtering with Mo-Cu single alloying target

이한찬 , 편진호 , 신백균 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2015.02 학술대회자료

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#Ti-Al-X-N(X-Cr, Si, V and B) coatings #Sputtering #Alloying targets

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문경일

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