RF magnetron sputtering법으로 제작된 IGZO 박막의 Ar 유량변화에 따른 구조적 광학적 전기적 특성 연구

진창현; 김홍배

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 진창현 (청주대학교) 김홍배 (청주대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제48회 동계정기학술대회초록집

발행연도: 2015.2

수록면: 293 - 293 (1page)

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2015

RF magnetron sputtering법으로 제작된 IGZO 박막의 Annealing 변화에 따른 특성 연구

진창현 , 김홍배 한국진공학회 학술발표회초록집 2015.08 학술대회자료

RF magnetron sputtering법으로 제작된 IGZO 박막의 Ar 유량변화에 따른 구조적 광학적 전기적 특성 연구

진창현 , 김홍배 한국진공학회 학술발표회초록집 2015.02 학술대회자료

RF 파워 변화에 따른 IGZO 박막의 구조적, 광학적, 전기적 특성

진창현 , 김홍배 전기전자재료학회논문지 2015.01 학술저널

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진창현

소속기관 청주대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 3 이용수 307

김홍배

소속기관 Cheongju University

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 40 이용수 2,773

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