Pyrazine에 의한 TMAH / IPA의 이방성 식각특성 개선 ( Improvements of TMAH / IPA Anisotropic Etching Characteristics by Pyrazine )

박진성 ,  최영규 ,  정귀상

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Pyrazine이 TMAH/IPA 실리콘 이방성 식각특성에 미치는 영향

鄭貴相 ,  朴珍星

전기학회논문지

1998 .12

압저항 압력센서 응용을 위한 TMAH/AP/IPA 용액의 실리콘 이방성 식각특성에 대한 연구

윤의중 ,  김좌연 ,  이태범 외 1명

전자공학회논문지-SD

2004 .03

TMAH를 이용한 채널 방향에 따른 실리콘 식각 특성 분석

이기태 ,  이준일 ,  김시현 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2018 .06

압력센서용 다이아프램 제작을 위한 TMAH/AP 식각특성

윤의중 ,  김좌연

한국반도체장비학회지

2003 .01

이방성 식각용액인 TMAH에 의한 Si 습식 식각

이재복 ,  홍경일 ,  오세훈 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

TMAH/AP 용액의 실리콘 이방성 식각특성 및 다이아프램 제작에 대한 연구

윤의중 ,  김좌연 ,  이태범 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2003 .07

A study on the corner compensation in anisotropic TMAH etching for pendulum structure

한규성 ,  이기정 ,  박신욱 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2008 .07

펜듈럼 구조체 제작을 위한 TMAH 습식 식각 시 모서리 보상에 관한 연구

한규성 ,  이기정 ,  박신욱 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2008 .07

압력센서용 다이아프램 제작을 위한 TMAH 의 식각특성 연구

김좌연 ,  윤의중 ,  이석태 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

TMAH 습식 식각 기술을 이용한 탄소나노튜브 전계방출 삼극관의 전자방출 특성

최지혜 ,  이기정 ,  Nguyen Tuan Hong 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2012 .07

KOH 수용액에서의 전기화학적 식각정지특성

오동환 ,  김문협 ,  김성진 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

Normally-Off AlGaN/GaN-based MOSHEMT by Using One-Step TMAH Wet Etching

Young-Woo Jo ,  Dong-Hyeok Son ,  Chul-Ho Won 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2016 .11

Immobilized cell을 이용한 고정상반응기에서의 TMAH제거 평가

박재용 ,  배우근 ,  한덕규 외 1명

대한환경공학회 학술발표논문집

2007 .12

희석된 HF 수용액과 IPA, 계면활성제, $H_2$$O_2$를 첨가한 혼합액의 실리콘 산화막 식각속도에 대한 연구

김상용 ,  엄대홍 ,  박진구

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

IPA 재생장치

한국광학기기협회

광학세계

2006 .01

용융접합 및 2 단계 전기화학적 식각정지를 이용한 실리콘 막의 제조

주병권 ,  김형곤 ,  오명환 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1992 .06