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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 1993.1
- 수록면
- 137 - 141 (5page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (3)
1993
증착시 도핑된 비정질 Si을 게이트로 갖는 MOS캐패시터와 트랜지스터의 전기적 특성
이현창
,
이상돈
,
김봉열
대한전자공학회 학술대회
1993.11
학술대회자료
증착시 도핑된 비정질 Si을 게이트로 갖는 MOS캐패시터와 트랜지스터의 전기적 특성 ( Electrical Characteristics of MOS Capacitors and Transistors with in-situ Doped Amorphous Si Gate Material )
이현창
,
이상돈
,
김봉열
대한전자공학회 학술대회
1993.11
학술대회자료
In-Situ Doped Poly를 게이트 재료로 한 MOS Capacitor 와 Transistor의 전기적 특성 ( Electrical and Reliability Characteristics of Mos Capacitor and Transistor with In-Situ Doped Poly Gate Material )
이현창
,
이상돈
,
노재성
외 1명
대한전자공학회 학술대회
1993.01
학술대회자료
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