Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구

조성환 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2019 .07

Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구

조성환 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2018 .10

고진공에서의 Inductively Coupled Plasma 특성 진단

조성환 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2020 .07

ETCH CHARACTERISTICS OF FERROELECTRIC SrBi$_2$Ta$_2$O$_9$ THIN FILMS IN AN INDUCTIVELY COUPLED PLASMA

Chung ,  Chee-Won ,  Kim 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

플라스틱 기판위의 기계적으로 유연성을 지닌 강유전체 (PZT)커페시터

노종현 ,  안종현 ,  허욱 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2010 .05

A Study of Ferroelectric Properties of the Oscillator Model of PZT-22

Ikechi Augustine Ukaegbu ,  Vladimi ,  Nikolaevich Bo 외 1명

[ETRI] ETRI Journal

2011 .02

Plasma Properties of Dual-Frequency Inductively Coupled Plasma Source

이승민 ,  김경남 ,  김태형 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2014 .05

Enhanced Inductively Coupled Plasma의 자화 주파수 의존 특성

라상호 ,  박세근 ,  오범환

대한전자공학회 학술대회

2000 .06

급속 열처리에 의한 PZT 강유전 박막의 제작

백동수 ,  김현권 ,  최형욱 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .07

PZT 강유전 박막의 전기적 특성

김현권 ,  백동수 ,  최형욱 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

Inductively coupled plasma를 이용한 ITO표면의 O₂ plasma 처리 후 유기 발광 소자의 특성

김미숙 ,  정창현 ,  임종태 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2005 .11

Plasma Properties by Pulsed Inductively Coupled Plasma Source using Dual Frequency

김태형 ,  김경남 ,  이승민 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2014 .05

Cl2/CF4 플라즈마에 Ar, O2 첨가에 따른 PZT 박막의 식각 손상 개선 효과

김경태 ,  김창일 ,  강명구

전기전자재료학회논문지

2002 .01

Plasma Enhanced Metalorganic Chemical Vapor Deposition of PZT Ferroelectric Thin Films

Won Gyu Lee ,  Seong Il Woo

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

Surface Modification Cr Plated SS316L by Inductively Coupled Plasma Nitriding

Dong Hoon Han ,  Won Hyuk Hong ,  Boh Wan Pak 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Inductively Coupled Plasma Etcher를 이용한 Pt 박막의 식각 ( Inductively Coupled Plasma Etching of Pt Thin Films )

이희습 ,  이종근 ,  정형섭 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1996 .07

졸-겔법에 의한 강유전성 PZT박막의 제작

李秉洙 ,  李悳出

전기학회논문지 P

2002 .06

이온 손상 처리가 PZT 박막의 강유전 특성에 미치는 영향

박응철 ,  이장식 ,  박정호 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01