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대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 1984년도 추계종합학술대회논문집 Vol.7 No.2
발행연도
1984.11
수록면
16 - 19 (4page)

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1984

Reactive Sputtering 으로 제조한 TiN 박막의 전기적 특성
송태섭 ,  김기완 대한전자공학회 학술대회 1984.11 학술대회자료
Reactive Sputtering으로 제조한 TiN 박막의 전기적 특성 ( The Electrical Charateristics of TiN thin Films By Reactive Sputtering )
송태섭 ,  김기완 대한전자공학회 학술대회 1984.01 학술대회자료

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목차

Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌

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