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대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 종합 학술 대회 논문집 (추계) 1998 Vol.21 No.2
발행연도
1998.11
수록면
573 - 576 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1998

대면적 LCD용 ICP소스에 대한 수치 해석적 분석
이주율 ,  이영직 ,  이강환 외 2명 대한전자공학회 학술대회 1998.11 학술대회자료
대면적 LCD용 ICP소스에 대한 수치 해석적 분석 ( A Numerical Analysis on the Development of ICP Source for Large Area LCD )
이주율 ,  이영직 ,  이강환 외 2명 대한전자공학회 학술대회 1998.11 학술대회자료

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목차

Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 시뮬레이션에 사용된 ICPS 반응로
Ⅲ. Inductively coupled Azimuthal Electric Field (Eθ)의 분석
Ⅳ. 시뮬레이션 결과
Ⅴ. 결론
Ⅵ . 참고문헌

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