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유도결합플라즈마 공정에서 조건별 플라즈마 방출광 세기 변화에 따른 전자온도의 전기적, 광학적 진단에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
아르곤 유도 결합 플라즈마에서 플라즈마 최적 생성 조건에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
준광학 밀리미터파를 이용한 유도결합 플라즈마의 물성 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
유도 결합 플라즈마에서 안테나의 가상 접지가 전자 밀도 분포에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
이온 주입 공정용 유도 결합 플라즈마에서 이온 밀도 및 플라즈마 발생 효율 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
유도 결합 플라즈마원의 외부 냉각에 관한 수치 모델링
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
산소 플라즈마에서 전자의 부착 및 탈착이 전자 에너지 분포 함수에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
초고속 플라즈마 전자 온도 측정법 개발을 통한 2㎒ 유도 결합 플라즈마의 전자 가열 및 동력학적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
용량성 결합 플라즈마에서 위상분해광방출 진단법을 이용한 전자가열 및 전자빔 거동 이해와 이를 통한 새로운 플라즈마 밀도 측정 기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
2차원 유도결합형 플라즈마 방전에서 전자 에너지 분포 함수, 유체의 흐름 및 열전달을 고려한 시뮬레이션
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
공진 안테나를 사용한 유도 결합 플라즈마에서 고효율 플라즈마 발생 및 플라즈마 동역학 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
축전 결합 플라즈마에서 인덕터 종단에 의한 플라즈마 z축 밀도 분포 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
유도 결합 플라즈마에서 웨이퍼 표면의 부유 전위 공간분포 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
이중주파수 유도결합 플라즈마에서 모드전이 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
열 전달 효과를 고려한, RF-bias가 인가된 유도결합형 플라즈마 방전 유체 시뮬레이션
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
유도결합플라즈마 분광법을 이용한 고순도 알루미나 분석기술
한국분석과학회 학술대회
2020 .06
연속방출광 기반의 대기압 플라즈마 전자진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
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