나노유체역학을 위한 크랙-광리소그래피

김민석; 하도경; 김태성

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김민석 (울산과기원) 하도경 (울산과기원) 김태성 (울산과기원)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 70주년 기념 학술대회

발행연도: 2015.11

수록면: 423 - 424 (2page)

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#Crack(균열) #Photolithography(리소그래피) #Nanofluidics(나노유체)

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나노전기유체역학: 이온농도 분극현상

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Microfabrication of Crack-photolithography-assisted Collapse-free and Mass-transport-controllable Nanochannels for Bio-applications

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