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저자정보
김종현 (포항가속기연구소) 박현욱 (경북대학교) 성민제 (포항가속기연구소) 임재홍 (포항가속기연구소) 김재영 (포항가속기연구소)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 70주년 기념 학술대회
발행연도
2015.11
수록면
602 - 607 (6page)

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2015

방사광 X-선 머시닝 공정 및 백색광 기반 연구를 위한 포항가속기연구소 빔라인 활용 및 성능 향상
김종현 ,  박현욱 ,  성민제 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2015.11 학술대회자료

2014

마이크로 밀링과 X-선 리소그래피 공정을 이용한 다층 마이크로 구조물 제작 공정 개발
김종현 ,  장석상 ,  임근배 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2014.03 학술저널
방사광 X-선 기반 고유한 마이크로/나노 구조 제작을 위한 X-선 리소그래피 공정 개발
김종현 기계공 2014.01 학위논문

2007

경 X-선을 이용한 마이크로 구조물 제작
김종현 ,  장석상 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2007.06 학술대회자료

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Since a discovery of X-ray, there have been much developments in techniques and applications which is based novel x-ray characterization. In this study, we introduce activities and improvements of white X-ray based nano- and micro-machining beamline at Pohang Light Source (PLS). Recently, the unique and dedicated X-ray machining facility, 9D beamline at PLS, has carried out facility upgrade. As a result, it is possible to fabricate outstanding X-ray masks with ease. New scanner system with high accuracy and more degrees of freedom was successfully installed for a more efficient X-ray irradiation. Novel white X-ray based topography system was also realized to investigate various defect status in a crystal material. Besides instrumentation improvements, recent X-ray based researches are also introduced. This activities could be contributed for the development of X-ray based technologies and related researches.
#High aspect ratio(고종횡비) #LIGA(리가공정) #microstructure(마이크로구조체) #X-ray machining(엑스선 머시닝) #white X-ray beam applications(백색광 응용)

목차

Abstract
1. 서론
2. 본론
4. 결론
참고문헌

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변혜선 ,  조진희 도시정보 2020 .05

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