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정주영 (한밭대학교) 김태규 (조선대학교) 이종광 (한밭대학교)
저널정보
한국추진공학회 한국추진공학회 학술대회논문집 한국추진공학회 2015년도 제45회 추계학술대회 논문집
발행연도
2015.11
수록면
898 - 901 (4page)

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인공위성용 IR(Infrared)센서의 작동/비작동 특성에 기인한 비 균일 출력특성 보정과 측정 대상체의 추정 정확도를 높이기 위해 MEMS 기술을 적용한 마이크로 히터를 흑체 시스템에 적용하였다. 이로 인해 시스템의 단순화 및 경량화가 가능하다. IR센서에 열원을 제공해주는 기판은 높은 열전도도를 가지고 있는 실리콘 웨이퍼를 사용하였다. 이 연구의 목표는 40 ℃에서의 실리콘 웨이퍼 표면 평균온도 균일도가 0.1%이내의 값을 갖는 것이다. 이를 만족시키기 위해 각각의 case에 총 13개의 마이크로 히터를 배치하였으며, 온도분포 해석 결과 히터간격을 가장 넓게 가져간 case의 표면온도 균일도가 0.08%로 가장 균일하였다.
#Black Body(흑체) #Micro Electro Mechanical System(MEMS) #Micro Heater

목차

ABSTRACT
초록
1. 서론
2. 마이크로 히터
3. 요약
참고문헌

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