임프린트 공정 중 레진 코팅의 정량화를 위한 닥터블레이드형 디스펜서 설계 및 제작

손희철; 김성우; 이지훈; 곽문규

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저자정보: 손희철 (경북대학교) 김성우 (경북대학교) 이지훈 (경북대학교) 곽문규 (경북대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2015년도 추계학술대회 논문집

발행연도: 2015.12

수록면: 505 - 506 (2page)

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2015

임프린트 공정 중 레진 코팅의 정량화를 위한 닥터블레이드형 디스펜서 설계 및 제작

손희철 , 김성우 , 이지훈 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2015.12 학술대회자료

닥터블레이드형 디스펜서를 통한 롤타입 리소그래피 공정 중 레진 코팅 과정의 균일도 개선

손희철 , 김성우 , 이지훈 외 2명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2015.10 학술대회자료

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소속기관 한양대학교

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M. K. Kwak

소속기관 경북대학교

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