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학술저널
저자정보
Indong Jun (Korea Institute of Science and Technology) Jee-Wook Lee (Kookmin University) Myoung-Ryul Ok (Korea Institute of Science and Technology) Yu-Chan Kim (Korea Institute of Science and Technology) Hojeong Jeon (Korea Institute of Science and Technology)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제49권 제1호
발행연도
2016.2
수록면
20 - 25 (6page)

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Femtosecond laser ablation of ultrathin polymer films on quartz glass using laser pulses of 100 fs and centered at λ=400 nm wavelength has been investigated for nanometer precision thin film patterning. Singleshot ablation craters on films of various thicknesses have been examined by atomic force microscopy, and beam spot diameters and ablation threshold fluences have been determined by square diameter-regression technique. The ablation thresholds of polymer film are about 1.5 times smaller than that of quartz substrate, which results in patterning crater arrays without damaging the substrate. In particular, at a 1/e<SUP>2</SUP> laser spot diameter of 0.86 μm, the smallest craters of 150-nm diameter are fabricated on 15-nm thick film. The ablation thresholds are not influenced by the film thickness, but diameters of the ablated crater are bigger on thicker films than on thinner films. The ablation efficiency is also influenced by the laser beam spot size, following a w<SUB>0q</SUB><SUP>-0.45</SUP> dependence.
#Femtosecond laser ablation #Patterned chemical surface #Polymer #Poly(ethylene glycol) #Thin film

목차

Abstract
1. Introduction
2. Experiments
3. Results and Discussion
4. Conclusion
References

참고문헌 (28)

참고문헌 신청
D. A. Higgins, T. A. Everett, A. F. Xie, S. M. Forman, T. Ito, High-resolution direct-write multiphoton photolithography in poly (methylmethacrylate) films, Appl. Phys. Lett. 88 (2006) 184101. google schola S. Ibrahim, D. A. Higgins, T. Ito, Direct-write multiphoton photolithography: A systematic study of the etching Behaviors in various commercial polymers, Langmuir 23 (2007) 12406-12412. google schola Costas. P. Grigoropoulos, Transport in Laser Microfabrication: Fundamentals and Applications, Cambridge University Press, NEW YORK (2009) 398. google schola B. N. Chichkov, C. Momma, S. Nolte, F. von Alvensleben, A. Tunnermann, Femtosecond, picosecond and nanosecond laser ablation of solids, Appl. Phys. A 63 (1996) 109-115. google schola B. C. Stuart, M. D. Feit, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, M. D. Perry, Laser-induced damage in dielectrics with nanosecond to subpicosecond pulses, Phys. Rev. Lett. 74 (1995) 2248-2251. google schola

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