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선형 초고주파 플라즈마 및 유도결합 Ar/CH4 플라즈마의 전기적 진단과 유체 시뮬레이션 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2016 .10
유체 시뮬레이션과 정전 탐침법을 이용한 유도결합 Ar 플라즈마 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2016 .07
유체 시뮬레이션을 이용한 유도결합 Ar/CH₄ 플라즈마의 특성 분석
전기학회논문지
2016 .08
선형 초고주파 플라즈마의 전기적 진단과 유체 시뮬레이션에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .10
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .10
유체시뮬레이션을 통한 Ar/CF₄ 자화유도결합 플라즈마의 특성 연구
전기학회논문지
2015 .04
유체시뮬레이션을 이용한 aspect ratio에 따른 유도결합플라즈마의 최적화 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
유체 시뮬레이션을 이용한 Ar/H₂ 유도 결합형 플라즈마 소스의 중성 기체 온도 구배 효과에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
Ar/CF₄ 혼합가스를 이용한 유도결합 플라즈마 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2022 .07
Ar/H2 유도 결합형 플라즈마의 펄스 모드 구동에 따른 이온 및 중성 기체 밀도 분포
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .10
정전 탐침법과 유체 시뮬레이션을 이용한 유도결합 Ar 플라즈마의 특성 연구
전기학회논문지
2016 .07
중성 종의 열 유동 해석 및 플라스마 유체 시뮬레이션을 이용한 유도 결합 Ar/H2 플라스마의 특성 분석
전기학회논문지
2022 .02
Ar/N₂/SiH₄/NH₃ 유도 결합형 플라즈마의 N₂ 함량에 따른 플라즈마 특성 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2016 .07
대형 유도 결합 플라즈마 시스템의 플라즈마 수치 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .05
플라즈마 진단 장치 및 진단 방법에 대한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2021 .10
랑뮤어 탐침과 컷오프 탐침을 이용한 자화유도결합 플라즈마의 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2015 .11
0D 글로벌 모델을 활용한 유도 결합 플라즈마 내부 Ar/H₂S 화학반응 메커니즘 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .11
아르곤 가스의 주입이 붕소 도핑 다이아몬드 전극의 특성에 미치는 효과
한국재료학회지
2018 .01
선형 초고주파 플라즈마의 유체 시뮬레이션에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
Estimation of CH₄ oxidation efficiency in an interim Landfill cover soil using CO₂/CH₄ ratios
Environmental Engineering Research
2015 .06
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