Thermal Dewetting Process를 이용한 비주기 서브파장 구조물의 제작방법

이종헌; 송영민

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이종헌 (부산대학교) 송영민 (부산대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 제50회 한국진공학회 동계정기학술대회 초록집

발행연도: 2016.2

수록면: 346 - 346 (1page)

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#열처리 #빗각증착 #나노입자 #서브파장 구조 #무반사

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