RF-스퍼터링에 의해 GaAs 기판상에 제작된 ZnO 박막의 성장온도와 공정가스비의 의존성

이수만 ,  김강복 ,  고항주 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2015 .11

ZnO 스퍼터링에서 기판전압의 변화에 의한 성장 조절

최재원 ,  전원진 ,  조중열

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01

산소 혼합 비율에 따른 RF 스퍼터링 ZnO 박막과 n-ZnO/p-Si 이종접합 다이오드의 특성

권익선 ,  김단비 ,  김예원 외 2명

한국재료학회지

2019 .01

기판 온도 변화에 따라 증착되어진 ZnO 박막의 특성과 유기태양전지의 버퍼층으로의 응용

박용섭

전기전자재료학회논문지

2015 .01

ZnO buffer 층을 이용한 초음파 분무열분해 ZnO 박막 증착

한인섭 ,  박일규

한국재료학회지

2017 .01

RF Sputter를 이용한 ZnO:Al 투명전도막 형성 및 후열처리 온도 변화에 따른 특성 분석

최원석 ,  박정은 ,  박정훈 외 3명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .11

반응성 RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 TiN_x 상온 성막에 있어서 기판 상의 펄스상 직류 바이어스 인가 효과

김세기

한국표면공학회지

2019 .12

Sputtering 방법에 의하여 증착된 Si₃N₄ 기체 투과 방지 박막의 특성

조계영 ,  이다은 ,  강보성 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

태양전지 응용을 위한 ZnO:Al 박막의 전기적, 물리적 특성에서 증착 온도의 영향

박찬일

전기전자재료학회논문지

2021 .01

Synthesis of p-Type ZnO Thin Film Prepared by As Diffusion Method and Fabrication of ZnO p-n Homojunction

김덕규

전기전자재료학회논문지

2017 .06

RF Sputtering 방법으로 증착된 배향막용 SiO₂ 박막의 특성

박인규 ,  유현지 ,  문혜수 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

기판 온도에 따른 ZnO:Ga 박막의 특성

김정규 ,  박기철

전기전자재료학회논문지

2017 .12

PET 기판 위에 RF magnetron sputtering으로 증착한 AZO 박막의 구조적, 광학적, 전기적 특성

이윤승 ,  김홍배

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 박막 증착에 관한 연구

이우식

한국정보전자통신기술학회 논문지

2018 .12

Effect of a ZnO Buffer Layer on the Structural, Optical and Electrical Properties of TIO/ZnO Bi-layered Films

Su-Hyeon Choe ,  Yun-Je Pa ,  k 외 2명

한국표면공학회지

2019 .12

RF Sputtering 방법으로 증착된 Zn0.85Mg0.15O 박막을 적용한 고효율 양자점 전계 발광 소자 연구

김보미 ,  김지완 ,  김지완

마이크로전자 및 패키징학회지

2022 .12

RF magnetron sputtering으로 증착한 IGZO 박막의 RF power에 따른 구조적, 광학적 및 전기적 특성 연구

연제호 ,  김홍배

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제조한 GZO 박막의 Ar 유량에 따른 특성

김덕규

전기전자재료학회논문지

2020 .01

(ZnO/Co) 다층 박막에서 ZnO층의 두께가 상온강자성 특성에 미치는 영향

강성근 ,  김성동

마이크로전자 및 패키징학회지

2018 .01

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 FeS₂ 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 RF 파워의 영향

신동혁 ,  김준아 ,  안태현 외 5명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2018 .11