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논문 기본 정보
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- 학술저널
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- 저널정보
- Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.33 No.4
- 발행연도
- 2016.4
- 수록면
- 265 - 270 (6page)
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Recently, many studies have been conducted on the nano-scale fabrication technology using twophoton-absorbed polymerization induced by a femtosecond laser. The nano-stereolithography process has many advantages as a technique for direct fabrication of true three-dimensional shapes in the range over several microns with sub-100 nm resolution, which might be difficult to obtain by using general nano/microscale fabrication technologies. Therefore, two-photon induced nano-stereolithography has been recently recognized as a promising candidate technology to fabricate arbitrary 3D structures with sub-100 nm resolution. Many research works for fabricating novel 3D nano/micro devices using the two-photon nano-stereolithography process, which can be utilized in the NT/BT/IT fields, are rapidly advancing.
목차
1. 서론
2. 나노 스테레오리소그래피 공정
3. 극미세3차원 응용소자
4. 결론
REFERENCES
참고문헌 (16)
참고문헌 신청
Kumi, G., Yanez, C. O., Belfield, K. D., and Fourkas, J. T., “High-Speed Multiphoton Absorption Polymerization: Fabrication of Microfluidic Channels with Arbitrary Cross-Sections and High Aspect Ratios,” Lab on a Chip, Vol. 10, No. 8, pp. 1057-1060, 2010.
Yang, D. Y., Park, S. H., Lim, T. W., Kong, H. J., Yi, S. W., et al., “Ultraprecise Microreproduction of a Three-Dimensional Artistic Sculpture by Multipath Scanning Method in Two-Photon Photopolymerization,” Applied Physics Letters, Vol. 90, Paper No. 013113, 2007.
Park, S. H., Lim, T. W., Yang, D. Y., Jeong, J. H., Kim, K. D., et al., “Effective Fabrication of Three- Dimensional Nano/Microstructures in a Single Step Using Multilayered Stamp,” Applied Physics Letters, Vol. 88, No. 20, Paper No. 203105, 2006.
Lim, T. W., Park, S. H., Yang, D. Y., Kong, H. J., and Lee, K. S., “Direct Single-Layered Fabrication of 3D Concavo-Convex Patterns in Nano-Stereolithography,” Applied Physics A-Materials Science & Processing, Vol. 84, No. 4 , pp. 379-383, 2006.
Park, S. H., Lim, T. W., Yang, D. Y., Yi, S. W., and Kong, H. J., “Direct Fabrication of Micropatterns and Three-Dimensional Structures Using Nanoreplication -Printing (nRP) Process,” Sensors and Materials, Vol. 17, No. 2, pp. 65-75, 2005.
Yang, D. Y., Park, S. H., Lim, T. W., Kong, H. J., Yi, S. W., et al., “Ultraprecise Microreproduction of a Three-Dimensional Artistic Sculpture by Multipath Scanning Method in Two-Photon Photopolymerization,” Applied Physics Letters, Vol. 90, Paper No. 013113, 2007.
Park, S. H., Lim, T. W., Yang, D. Y., Jeong, J. H., Kim, K. D., et al., “Effective Fabrication of Three- Dimensional Nano/Microstructures in a Single Step Using Multilayered Stamp,” Applied Physics Letters, Vol. 88, No. 20, Paper No. 203105, 2006.
Lim, T. W., Park, S. H., Yang, D. Y., Kong, H. J., and Lee, K. S., “Direct Single-Layered Fabrication of 3D Concavo-Convex Patterns in Nano-Stereolithography,” Applied Physics A-Materials Science & Processing, Vol. 84, No. 4 , pp. 379-383, 2006.
Park, S. H., Lim, T. W., Yang, D. Y., Yi, S. W., and Kong, H. J., “Direct Fabrication of Micropatterns and Three-Dimensional Structures Using Nanoreplication -Printing (nRP) Process,” Sensors and Materials, Vol. 17, No. 2, pp. 65-75, 2005.
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