High aspect ratio silicon etching based on Metal-Assisted Chemical Etching process

Seung Deok Kim ,  Maeum Han ,  Jae Yong Lee 외 6명

대한전자공학회 학술대회

2023 .06

Fabrication of 3D Nanostructures Using Block Copolymer and Colloid Lithography

윤현수 ,  최홍균

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2024 .09

Fabrication of Metal Nanoparticle Array by Using Block Copolymer Self-Assembly

Hyeon Chul IM ,  Jung Ki LEE ,  Eun-Sik EOM 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2016 .10

Transition Metal Dichalcogenide Nanopatterns by Block Copolymer Lithography

김진구 ,  김상욱

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2019 .10

Au/Ag Bimetallic Nanopattern Fabrication via Block Copolymer Lithography

차승근 ,  김상욱

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2015 .04

Reduction of LER in EUV Lithography Assisted by Block Copolymer Self-Assembly

이창현 ,  안지훈 ,  허수미

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2022 .10

전기화학식각법을 이용한 Ge 마이크로 구조 제작

봉해균 ,  김경환 ,  오정우

대한전자공학회 학술대회

2022 .06

Synthesis of Silicon and Fluorine Containing Block Copolymers

하지수 ,  조성준 ,  류두열

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2017 .04

Controlling segmentation of multi-component metal nanowire array via block copolymer lithography and bi-directional ion loading

양건국 ,  문정호 ,  차승근 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2017 .10

Block-copolymer-based energy conversion and chemical sensor applications

배소현 ,  박수진

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2017 .04

몽골토목학회(MACE) 참관기

정상섬

대한토목학회지

2015 .08

몽골토목학회(MACE) 참관기

김병수

대한토목학회지

2019 .08

Enhanced Block Copolymer Etch Contrast by Incorporating Gold Nano-dots

김창언 ,  심재원 ,  함석준 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2022 .10

Various Metal Nanostructures based on Block Copolymer Self Assembly

김진곤 ,  김무성 ,  이재용

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2018 .04

Silver/gold nanoparticle array by block copolymer micelle lithography

임현철 ,  김진후 ,  엄은식 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2016 .04

Use of Hard Mask for Finer (<10 μm) Through Silicon Vias (TSVs) Etching

홍상진 ,  최소망

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2015 .01

Study on the Impact of Silicon Doping Level on the Trench Profile Using Metal-Assisted Chemical Etching

Zhe Cao ,  Qiyu Huang ,  Chuan 외 2명

Electronic Materials Letters

2016 .01

Shaping Block Copolymer Particles

김범준

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2017 .10

Pattern Transfer to Silicon Substrates via Block-copolymer Liquid Phase Infiltration

김창언 ,  심재원 ,  김형석 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2023 .04

Fabrication of High Performance Carbon Nanotube Fiber

정현수 ,  이재근 ,  이동명 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2018 .10