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저자정보
양지훈 (포항산업과학연구원) 김성환 (포항산업과학연구원) 송민아 (포항산업과학연구원) 정재훈 (포항산업과학연구원) 정재인 (포항산업과학연구원)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제49권 제3호
발행연도
2016.6
수록면
307 - 315 (9page)

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이 논문의 연구 히스토리 (7)

2018

음극아크 증착으로 제조한 TiMoN 코팅층 특성
양지훈 ,  김성환 ,  변인섭 외 2명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2018.11 학술대회자료
음극아크증착으로 제조된 TiMoN 박막의 물리적 특성
양지훈 ,  김성환 ,  변인섭 외 2명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2018.06 학술대회자료

2016

음극아크증착과 스퍼터링의 하이브리드 공정으로 제조된 TiAlSiN 코팅층의 물성
양지훈 ,  김성환 ,  정재훈 외 2명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2016.11 학술대회자료
음극 아크 증착으로 제조된 AlTiN 박막의 특성
양지훈 ,  김성환 ,  송민아 외 2명 한국표면공학회지 2016.06 학술저널

2015

음극 아크 증착과 스퍼터링의 Hybrid 공정으로 제작된 TiAlSiN 박막 특성
양지훈 ,  송민아 ,  정재훈 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2015.02 학술대회자료

2014

스퍼터링과 음극 아크의 Hybrid 공정으로 제작된 TiAlSiN 코팅층의 특성
양지훈 ,  송민아 ,  정재훈 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2014.08 학술대회자료
Hybrid 공정으로 제작된 TiAlSiN 코팅층의 물리적 특성
양지훈 ,  송민아 ,  정재훈 외 2명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2014.05 학술대회자료

초록· 키워드

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The properties of AlTiN films by a cathodic arc deposition process have been studied. Oblique angle deposition has been applied to deposit AlTiN films. AlTiN films have been deposited on stainless steel (SUS304) and cemented carbide (WC) at a substrate temperature of 500℃. AlTiN films were analyzed by scanning electron microscopy, glow-discharge light spectroscopy, micro-vickers hardness, and nanoindenter. When applying a current of 50 A to the cathodic arc source, it showed that the density of macroparticle of AlTiN films was 5 lower than other deposition conditions. With the increase of the bias voltage applied to the substrate up to –150 V, the density of macroparticle was decreased. The change of the N₂ flow rate during coating process made no influence on the film properties. For the multi-layered films, the film prepared at oblique angle of 60° showed the highest hardness of 28 GPa and H³/E² index of 0.18. AlTiN films have been shown a good oxidation resistance up to 800℃.
#AlTiN films #Cathodic arc deposition #Oblique angle deposition #Physical vapor deposition #Macroparticle

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References

참고문헌 (19)

참고문헌 신청
[학술지(정기간행물)] - 윤석영 / 2002 / 아크 이온 플레이팅법에 의해 증착된 TiN과 TiAlN 박막의 기계적특성 비교 / 한국표면공학회지 35 (4) : 199 ~ 205 dbpia [학술지(정기간행물)] - 임희열 / 2006 / WC-Co 인써트의 절삭 성능에 미치는 TiAlN계 나노 다층막 코팅의 영향 / 한국진공학회지 15 (1) : 110 ~ 116 dbpia [학술지(정기간행물)] - 조규재 / 2010 / AlTiN 코팅 층수에 따른 볼 엔드밀의 마모특성에 관한 연구 / 한국정밀공학회지 27 (8) : 54 ~ 61 dbpia [학술지(정기간행물)] - 정재훈 / 2012 / 빗각 증착으로 제조된 TiN 박막의 특성 / 한국표면공학회지 45 (3) : 106 ~ 110 dbpia [학술지(정기간행물)] - D. Arias / 2010 / Study of TiN/ZrN/TiN/ZrN multilayers coatings grown by cathodic arc technique / Surf. Coat. Technol 204 : 2999 ~ 3003 google schola

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