몰리브데넘 기반의 오믹 저항을 이용한 AlGaN/GaN 쇼키 다이오드 특성

Q: 이 논문에서 정의한 오믹 접촉이란 무엇인가?

오믹 접촉은 화합물 반도체 공정에서 금속 간의 합금 형성을 통해 낮은 저항을 가지는 전기적 연결을 만드는 공정이다. 주로 Ti/Al/Ni/Au 기반의 금속 조합을 고온 열처리하여 구현하며, 본 연구에서는 AlGaN/GaN SBD 소자 제작을 위해 몰리브데넘 기반의 금속 조합을 최적화하였다.

Q: AlGaN/GaN SBD 소자 제작 시 최적의 몰리브데넘 기반 오믹 접촉 조건은 무엇인가?

연구 결과, Si/Ti/Al/Mo/Au 금속 조합 중 sample C (Mo 두께 20nm)는 800°C(T2)에서 0.29 ohm·mm의 가장 낮은 접촉 저항을 보였고, sample D (Mo 두께 35nm)는 820°C(T3)에서 0.28 ohm·mm로 최적의 값을 나타냈다. 또한, AFM 분석을 통해 sample C는 T2와 T3에서 모두 양호한 표면 특성을 보였다.

김진식; 이형석; 나제호; 고상춘; 남은수; 임종원

학술대회자료

저자정보: 김진식 (한국전자통신연구원) 이형석 (한국전자통신연구원) 나제호 (한국전자통신연구원) 고상춘 (한국전자통신연구원) 남은수 (한국전자통신연구원) 임종원 (한국전자통신연구원)

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 2016년도 대한전자공학회 하계종합학술대회

오류 신고하기

피인용 0

검색

초록·키워드

Schottky barrier diodes (SBDs) on AlGaN/GaN heterostructure are one of promising alternatives for high power switching device, because of their high switching speed, low on-resistance and large breakdown voltage. Lots of investigations are performed for the application of AlGaN/GaN SBD for rectifiers or devices in DC-DC converters and inverters. In this work, we investigated the optimal conditions of Mo-based ohmic contact for fabrication of AlGaN/GaN SBD devices, and characterized the fabricated AlGaN/GaN SBD devices using optimized ohmic condition with Mo-based ohmic metal..

본문·목차

DBpia Pick! 추천 자료

함께 본 자료

저자 정보

최근 본 자료 전체보기

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2017-569-000883168

배경 및 목적
대상 및 방법론
분석 및 수행
결과 및 의의

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

초록·키워드

참고문헌

AI가 분석한 연구 핵심

이 논문의 한줄 요약

이 논문의 연구방법

본문·목차

DBpia Pick! 추천 자료

함께 본 자료

저자 정보

최근 본 자료 전체보기

피인용 자료 DBpia에 구축된 참고문헌을기준으로 집계되어, 타 사이트의피인용 수와 다를 수 있습니다.

댓글(0)

피인용 자료