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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2016.6
- 수록면
- 278 - 281 (4page)
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A nano size single-mode waveguide for silicon optical modulator was designed using an Effective index method(EIM). The width of waveguide 350nm for single mode operation and the calculated optical confinement was 95.9%. The waveguide was fabricated on SOI(Silicon-On-Insulator) using e-beam lithography. The measured optical characteristics of waveguide showed a propagation loss of 4.46dB/cm and 95.19% optical confinement. A silicon optical modulator utilizing this waveguide was estimated to have 9.3 Vㆍmm modulation efficiency.
목차
Abstract
I. 서론
II. 본론
III. 결론 및 향후 연구 방향
참고문헌
참고문헌 (0)
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