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초록·키워드
A hydrogen sulfide (H₂S) gas sensor of thin film showing high sensitivity was fabricated and its properties were investigated. The material for H₂S gas sensor was the tungsten oxide (WO₃) and a little amount of palladium chloride (PdCl₂) was added. Au electrode and Pt heater were printed by respectively screen printing method in alumina substrate, and the material for H₂S gas was formed by thick film on Au electrode. Response properties of manufactured sensor were investigated by electrical conductivity value that was displayed according to the operation temperature of sensor and H₂S gas concentration. Also, sensitivity of sensor was evaluated about NH₃, NOx and SO₂ gases. Manufactured WO₃ and WO₃-PdCl₂ sensor showed good results of sensitivity, selectivity, stability, and linearity to H₂S concentration, and WO₃-PdCl₂ sensor particularly showed more superior response properties than WO₃ sensor.
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