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SF6는 지구온난화지수가 가장 높은 중요한 온실가스이다. 본 연구에서는 마이크로파 조사에 따른 산화알루미늄이 혼합된 실리콘카바이드의 SF6 제거실험을 실시하였다. DRE (Decomposition and Removal Efficiencies)실험은 3,000 ppm의 SF6를 사용하여 GC-TCD를 통하여 분석하였다. 산화알루미늄의 함량이 10~30 wt%까지 SF6의 제거효율은 증가하였으나 산화알루미늄의 함 량이 40~50 wt%에서 제거효율이 감소하였다. 특히 900℃ 이상 에서 SiC-Al₂O₃ (20 wt%)와 SiC-Al₂O₃ (30 wt%)는 99.99%의 SF6 제거효율을 보여주었으며 SiC-Al₂O₃ (30 wt%)가 700℃에서 96.72%의 제거효율을 보여주었다. 마이크로파 조사량과 산화알루미늄의 함량을 고려시 SiC-Al₂O₃ (30 wt%)가 SF6 제거에 가장 적절하였다. 본 연구의 결과로 마이크로파에 의한 SF6 제거시 SiC에 Al₂O₃의 함량 조절이 중요할 것으로 사료되어진다.
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