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저자정보
Soohyun PARK (Pohang University of Science and Technology)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2016년 한국진공학회 IVC-20 (제51회 하계정기학술대회 초록집)
발행연도
2016.8
수록면
962 - 962 (1page)

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