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Hirotomo ITAGAKI (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology) Yutaka FUJIWARA (Tsukuba University) Yuki MINOWA (Tsukuba University) Yuzuru IKEHARA (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology) Toshiro KANEKO (Tohoku University) Toshiya OKAZAKI (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology) Yoko IIZUMI (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology) Jaeho KIM (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology) Yoichi HIRANO (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology) Satoru KIYAMA (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology) Hajime SAKAKITA (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2016년 한국진공학회 IVC-20 (제51회 하계정기학술대회 초록집)
발행연도
2016.8
수록면
1,256 - 1,256 (1page)

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