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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
권민준 (한경대학교) 김태훈 (한경대학교) 이우철 (한경대학교)
저널정보
대한전기학회 전기학회논문지 전기학회논문지 제65권 제12호
발행연도
2016.12
수록면
1,992 - 1,999 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2020

DC 플라즈마 스퍼터링 공정용 LLC 공진 컨버터 분석 기법 및 펄스 전원장치 연구
권민준 전기전자제어공학과 2020.01 학위논문

2017

아크방지를 위한 플라즈마 공정의 DC 전원장치용 LLCC 공진 컨버터 특성 연구
권민준 전기전자제어공학과 2017.01 학위논문

2016

플라즈마 전원장치용 LLCC 공진컨버터의 이득 특성 분석
권민준 ,  김태훈 ,  이우철 전기학회논문지 2016.12 학술저널
출력 커패시터를 고려한 플라즈마 공정용 LLCC 공진컨버터에 관한 연구
권민준 ,  김태훈 ,  이우철 전력전자학회 학술대회 논문집 2016.07 학술대회자료

초록· 키워드

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The plasma process is applied to various industrial fields such as high-tech IT industry, textiles and medical. Therefore, there is increasing interest in the plasma power supply, and demand for power devices of high efficiency and high power density is increased. Plasma power supply for process must solve the arc problem, when the plasma is unstable. The output capacitor is closely related to the arc problem. If the output capacitor is smaller, the damage from the arc problem is reduced. However, the small value of the output capacitor affects the operating characteristics of the power supply. In this paper, a LLC resonant converter is adopted, because it can achieve high efficiency and power density in the plasma DC power supply. However, due to the small value of the output capacitor, the converter is operated as a LLCC resonant converter. Therefore, a gain characteristic of LLCC resonant converter is analyzed by using the FHA (First Harmonic Approximation) in plasma power supply. Simulation and experimental results are presented to verify the characteristic analysis of LLCC Resonant Converter.
#LLC resonant converter #LLCC #Plasma power supply

목차

Abstract
1. 서론
2. 본문
3. 결론
References

참고문헌 (8)

참고문헌 신청
[학술대회논문] - B. Yang / 2002 / LLC Resonant Converter for Front End DC/DC Conversion / Proc. IEEE APEC'02 : 1108 ~ 1112 google schola [학술지(정기간행물)] - C. Corbella / 2009 / Plasma Parameters of Pulsed-dc discharges in methane used to deposit diamondlike carbon films / Journal of Applied Physics 106 : 03302 ~ google schola [기타자료] - Noborn Kuriyama / 2002 / POWER SUPPLY UNIT FOR SPUTTERING DEVICE / U. S. Patent 6,416,638 B1 google schola [학술지(정기간행물)] - 반정현 / 2012 / 스퍼터용 플라즈마 전원장치의 아크방지를 위한 에너지 회생회로에 대한 연구 / 전기학회 논문지 P권 61 (3) : 116 ~ 121 dbpia [학위논문] - 김재현 / 2011 / MOSFET의 Output Capacitance를 고려한 LLC 공진컨버터에 대한 해석 및 설계 / 석사 / 한국과학기술원 google schola

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