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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
박종찬 (인하대학교) 정양희 (전남대학교) 강성준 (전남대학교)
저널정보
한국정보통신학회 한국정보통신학회논문지 한국정보통신학회논문지 제21권 제3호
발행연도
2017.3
수록면
578 - 584 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2017

SiO₂ 버퍼층을 갖는 PET 기판위에 증착한 IZTO 박막의 전기적 및 광학적 특성
박종찬 ,  정양희 ,  강성준 한국정보통신학회논문지 2017.03 학술저널

2015

RF 전력이 PET 기판 위에 증착된 IZTO 박막에 미치는 영향
박종찬 ,  장동훈 ,  정양희 외 1명 대한전자공학회 학술대회 2015.06 학술대회자료
SiO2 버퍼 층이 있는 플라스틱 기판 위에 증착된 IZTO 박막의 특성에 관한 연구
박종찬 일반 2015.01 학위논문

초록· 키워드

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PET (Polyethylene terephthalate) 플라스틱 기판 위에 IZTO (In-Zn-Sn-O) 박막을 증착하기 전에, SiO₂ 버퍼층을 전자빔 증착 방법으로 100 nm 의 두께로 증착하였다. IZTO 박막은 RF 마그네트론 스퍼터링법으로 RF 파워는 30~60W 로, 공정 압력은 1~7 mTorr 로 변화시켜가며 SiO₂/PET 에 증착하여 IZTO 박막의 구조적, 전기적, 광학적 특성을 분석하였다. RF 파워 50W 와 공정 압력 3 mTorr 에서 증착한 IZTO 박막이 4.53 × 10<SUP>-3</SUP>/Ω 의 제일 큰 재료평가지수와 이때 4.42 × 10<SUP>-4</SUP> Ω-cm 의 비저항과 27.63 Ω/sq. 의 면저항으로 가장 우수한 전기적 특성을 보였고, 가시광 영역 (400∼800 nm) 에서의 평균 투과도도 81.24 % 로 가장 큰 값을 나타내었다. AFM 으로 IZTO 박막의 표면 형상을 관찰한 결과, 모든 IZTO 박막이 핀홀이나 크랙 같은 결함이 없는 표면을 가지며, RF 파워 50W 와 공정 압력 3 mTorr 에서 증착한 박막이 1.147 nm 의 가장 작은 표면 거칠기를 나타내었다. 이로부터 SiO₂/PET 구조위에 증착한 IZTO 박막이 차세대 플렉시블 디스플레이 소자에 응용될 수 있는 매우 유망한 재료임을 알 수 있었다.
#IZTO 박막 #고주파 마그네트론 스퍼터링 #PET 기판 #버퍼층 #투명 전도막 #IZTO Thin Film #RF Magnetron Sputtering #PET Substrate #Buffer Layer #TCO

목차

요약
ABSTRACT
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험 방법
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
REFERENCES

참고문헌 (15)

참고문헌 신청
N. Ito, Y. Sato, P. K. Song, A. Kaijio, K. Inoue, Y. Shigesato, “Electrical and Optical Properties of Amorphous Indium Zinc Oxide Films,” Thin solid Films, vol. 496, pp. 99-103, Sep. 2005. K. H. Lee and H. W. Jang, “Mechanism for The Increase of Indium-Tin-Oxide Work Function by O2 Inductively Coupled Plasma Treatment,” Journal of Applied Physics, vol. 95, pp. 586-590, Jan. 2004. H. Zhuang, J. Yan, C. Xu, D. Meng, “Transparent Conductive Ga2O3/Cu/ITO Multilayer Films Prepared on Flexible Substrates at Room Temperature,” Applied Surface Science, vol. 307, pp. 241-245, Apr. 2014. B. Houng, S. L. Lin, S. W. Chen, A. Wang, “Influence of An In2O3 Buffer Layer on The Properties of ITO Thin Films,” Ceramics International, vol. 37, pp. 3397-3403, Jun. 2011. T. Ishida, H. Kobayashi, Y. Nakato, “Structures and Properties of Electron Beam Vaporated Indium Tin Oxide Films as Studied by Xray Photoelectron Spectroscopy and Work Function Measurements,” Journal of Applied Physics, vol. 73, pp. 4344-4350, May 1993.

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