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저자정보
박기원 신영봉 (한국과학기술원) 강인구 (한국과학기술원) 이희철 (한국과학기술원)
저널정보
대한전자공학회 전자공학회논문지 전자공학회논문지 제54권 제3호 (통권 제472호)
발행연도
2017.3
수록면
31 - 36 (6page)

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본 논문에서는 가상의 적외선 영상을 투사하여 적외선 검출기의 성능 평가를 위한 목적으로 사용되는 적외선 영상 투사장치 (Infrared scene projector, IRSP)의 내부에서 적외선을 방사하는 역할을 하는 적외선 에미터 소자에 대한 연구가 수행되었다. 적외선 에미터 소자의 구조를 설계한 후 설계된 소자의 특성 파라미터들을 추출하였으며 각 특성 파라미터에 근거한 소자의 성능을 유한 요소법을 통해 예측하였다. 또한 소자를 구성하는 각 부분의 특성에 따른 물질 선정 후 MEMS 기반 반도체공정기술을 적용하여 에미터 단위소자를 제작하였고 중적외선 대역(3∼5μm)의 적외선을 관찰할 수 있는 적외선 영상 현미경을 사용하여 진공 환경을 갖춘 챔버 내부에서 소자의 성능을 측정한 결과 최대 423K의 유효온도 및 22msec의 응답 시간을 나타내는 것을 확인하였다.
#IRSP #IR emitter #MEMS #apparent temperature #radiance rise time

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 본론
Ⅲ. 실험 및 결과
Ⅳ. 결론
REFERENCES

참고문헌 (6)

참고문헌 신청
Ronald G. Driggers et al, “Review of infrared scene projector technology-1993”, Opt. Eng. 33(7), pp. 2408-2417 Jul 1994. 0. Williams et al, “Performance characteristics of thin film resistor arrays for infrared projector applications”, in Characterization, Propagation, and Simulation of Sources and Backgrounds II, Proc. SPIE 1687, pp. 71-81, 1992. P. Bryant, S. Solomon and J. James, “Bolometers Running Backward : The Synergy Between Uncooled IR Sensor & Dynamic IR Scene Projectors,” Infrared Imaging Systems: Design, Analysis, Modeling, and Testing XVII, Proc. SPIE, Vol. 6207, pp. 62007J1-12, 2006. B. E. Cole et al, “Monolithic 512×512 CMOSMicrobridge arrays for infrared scene projection” The 8th international Conference on Solid State Sensors and Actuators, Stockholm, Sweden, 1995. S. Solomon and P. Bryant, “Adventures in High Temperature Resistive Emitter Physics”, Proc. SPIE Vol. 5092, pp. 52-60, 2003.

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