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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2010.6
- 수록면
- 1,515 - 1,521 (7page)
이용수
초록· 키워드
본 연구에서는 전체 반도체 생산 공정 중 병목공정으로 지적되는 FAB공정의 사이클타임을 최소로 하는 최적 배치크기를 제안한다. FAB공정은 동일한 공정을 여러 번 반복하여 방문하는 특징을 가진 re-entrant공정으로서 이로 인한 공정의 복잡성이 매우 높다. 또한 FAB공정을 구성하는 설비의 작동시간 및 설비수의 상이함 등으로 인해 FAB공정 관리에 많은 어려움이 지적되어 왔고, 이를 해결 하기 위한 FAB공정 배치 크기, 투입률, 스케쥴링과 같은 많은연구가 진행되어 왔다.
이에 본 연구에서는 배치크기를 통한 FAB공정 사이클타임 산출모델을 제안하고, 이를 통해 사이클타임을 최소로 하는 최적 배치 크기산정 방법을 제안한다. 또한 산출된 모델을 검증하기 위한 수리실험을 진행하였다.
상세정보 수정요청해당 페이지 내 제목·저자·목차·페이지이에 본 연구에서는 배치크기를 통한 FAB공정 사이클타임 산출모델을 제안하고, 이를 통해 사이클타임을 최소로 하는 최적 배치 크기산정 방법을 제안한다. 또한 산출된 모델을 검증하기 위한 수리실험을 진행하였다.
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목차
- Abstract
- 1. 서론
- 1. 기존연구동향
- 2. FAB 공정의 분석 및 배치크기 결정의 중요성
- 3. 최적 배치 크기산출 모델
- 4. 실험
- 5. 결론 및 향후 연구방향
- 참고문헌
참고문헌
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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2018-020-000845924
