Implementation of an Integrated Pressure-sensor System Adapted to the Optimum Sensitivity

Sung-Hee Hong; Chun-Hyung Cho

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자료유형: 학술저널

저자정보: Sung-Hee Hong (Hongik University) Chun-Hyung Cho (Hongik University)

저널정보: 대한전자공학회 JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE Journal of Semiconductor Technology and Science Vol.17 No.2

발행연도: 2017.4

수록면: 186 - 191 (6page)

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An integrated pressure-sensor system was developed using the sensor-conditioning processes, which resulted in the optimum sensitivity of the pressure-sensor through the signal amplification, noise reduction, and level shift. Due to the specified characteristics among the components, such as operation range, the sensor output was generally limited compared to the full scale of the reading when coupled with other parts. Devices fabricated exhibited comparable characteristics with higher pressure sensitivity to that of the pressure sensor without sensor-conditioning process. In this work, the sensor resolution was at least enhanced at least by 25% using the sensor-conditioning processes.

#Pressure-sensor #sensor-conditioning #sensor-resolution #pressure-sensor system

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C. S. Smith, “Piezoresistance Effects in Germanium and Silicon,” Physical Review, Vol. 94 (1), 42~49, 1954. C.-H. Cho, R. C. Jaeger, J. C. Suhling, Y. Kang and A. Mian, “Characterization of the Temperature Dependence of the Pressure Coefficients of n- and p-type Silicon Using Hydrostatic Testing,” IEEE Sensors Journal, vol. 8(4), 392~400, 2008. J. C. Suhling and R. C. Jaeger, “Silicon piezoresistive stress sensors and their application in electronic packaging”, IEEE Sensors Journal, Vol. 1, no. 1, pp. 14-30, 2001. A. Mian, J. C. Suhling and R. C. Jaeger, “The van der Pauw stress sensors,” IEEE Sensors Journal, Vol. 6, no. 2, pp. 340-356, 2006. C.-H Cho and H.-Y Cha, “Stress-Sensors with High-Sensitivity Using the Combined Meandering- Patterns,” JSTS, Vol. 15(1), pp. 1~6, 2015.

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