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학술저널
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서창훈 (아주대학교) 이형규 (리텍) 전용호 (아주대학교) 이문구 (아주대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.34 No.6
발행연도
2017.6
수록면
431 - 437 (7page)
DOI
10.7736/KSPE.2017.34.6.431

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Recently, Laser Direct Imaging (LDI) has been used to replace lithography in Flexible Printed Circuit Board (FPCB) manufacturing. However, repeated motion of a linear motor caused residual vibration in the granite on which the workpiece was placed when the motor either accelerated or decelerated. Because the residual vibration made positioning less accurate, there were more defective products and worse productivity. This paper proposes a way to reduce vibration in the granite during the precision stage. First, the frequency domain of the vibrations of a pneumatic vibration isolator is identified. Second, we present the design of the mechanism using a voice coil actuator and a capacitive displacement sensor. Third, we apply a feedback control algorithm based on PID to cancel displacement. Consequently, we are able to propose an optimal way to reduce vibration for the laser direct imaging equipment. The amount of vibration reduction is evaluated in terms of amplitude and settling time.
#Precision stage (초정밀 스테이지) #Vibration reduction (진동 저감) #Reaction force compensation (반력 보상) #Displacement cancellation (변위 상쇄)

목차

1. 서론
2. 공기 스프링의 진동 특성
3. 진동 저감 장치 설계
4. 진동 저감 기구의 제어
5. 실험
6. 결론
7. 토의
ACKNOWLEDGEMENT
REFERENCES

참고문헌 (7)

참고문헌 신청
Lee, S. J., Kim, J. S., Shin, B. C., Kim, D. W., and Cho, M.W., “Development of a LDI System for the Maskless Exposure Process and Energy Intensity Analysis of Single Laser Beam,” Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers, Vol. 19, No. 6, pp. 834-840, 2010. Zhang, Y., Yang, Q., and Bao, G., “Nonlinearity Analyses of Pneumatic Vibration Isolation System with Simple Harmonic Excitations,” Proc. of the 3rd International Conference on Computer Science and Information Technology, pp. 814-817, 2010. Kim, M. H., Kim, H. Y., Kim, H. C., Ahn, D. H., and Gweon, D. G., “Design and Control of a 6-DOF Active Vibration Isolation System Using a Halbach Magnet Array,” IEEE/ASME Transactions on Mechatronics, Vol. 21, No. 4, pp. 2185-2196, 2016. Hong, J. P. and Park, K. H., “Design and Control of Six Degreeof- Freedom Active Vibration Isolation Table,” Review of Scientific Instruments, Vol. 81, No. 3, Document ID: 035106, 2010. Shahadat, M., Mizuno, T., Ishino, Y., and Takasaki, M., “Active Vibration Isolation Using Negative Stiffness and Displacement Cancellation Controls: Comparison Based on Vibration Isolation Performance,” Control Engineering Practice, Vol. 37, pp. 55-66, 2015.

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