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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.9
- 수록면
- 4,101 - 4,106 (6page)
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본 논문에서 기존 underpass와 via를 갖는 단층 나선형 박막 인덕터를 확장하여 제한된 점유면적 내에서 인 덕턴스를 증가시킬 수 있는 하층 나선형 코일과 via를 갖는 2층 나선형 박막 인덕터의 구조를 제안하고 주파수 특성 을 확인하였다. 인덕터의 구조는 Si를 300㎛, SiO₂를 7㎛으로 하였으며, Cu 코일의 폭과 선간의 간격은 각각 20㎛으 로 설정하여 3회 권선하였다. 나선형 박막 인덕터의 성능을 나타내는 인덕턴스, quality-factor, SRF에 대한 주파수 특 성을 HFSS로 시뮬레이션 하였다. 2층 나선형 박막 인덕터는 0.8∼1.8GHz 범위에서 3.2nH의 인덕턴스, 2.5GHz에서 최대 8.2 정도의 품질계수를 가지며, SRF는 5.8GHz로 시뮬레이션 결과를 얻었다. 반면에 단층 나선형 박막 인덕터는 0.8∼1.8GHz 범위에서 1.5nH의 인덕턴스, 8GHz에서 최대 18 정도의 품질계수를 가지며, SRF는 19.2GHz로 시뮬레이 션 결과를 얻을 수 있었다.
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Minda Denesh / 2002 / Differentially Driven Symmetric Microstrip Inductors / IEEE Trans. on Microwave Theory and Techniques 50(1):332~341
I. Wolff / 1987 / Modeling of Circular Spiral Inductors for MMICs / IEEE MTT-s Digest :123~126
Myung-Hee Jung / 2000 / Development of High-Performance Solenoid-Type RF Chip Inductors / Jpn. J. Appl. Phys 39(8):4772~4776
Larson Le / 1998 / Integrated Circuit Technology Options for RFIC's Present Status and Future Directions / IEEE J. Solid-State Circuits 33:387~399
Mikkelsen JH / 1998 / RF CMOS Circuits Target IMT-2000 Applications :99~107
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Myung-Hee Jung / 2000 / Development of High-Performance Solenoid-Type RF Chip Inductors / Jpn. J. Appl. Phys 39(8):4772~4776
Larson Le / 1998 / Integrated Circuit Technology Options for RFIC's Present Status and Future Directions / IEEE J. Solid-State Circuits 33:387~399
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