메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국산학기술학회 한국산학기술학회 논문지 한국산학기술학회논문지 제14권 제9호
발행연도
2013.9
수록면
4,178 - 4,184 (7page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
최근 나노임프린트 리소그래피 공정이 마이크로/나노 스케일의 소자 개발에 있어서 경제적으로 대량 생산할 수 있는 기술로 주목 받고 있다. 최근 나노임프린트 기술은 공정의 고속화 및 대면적화를 통한 대량생산 기술로의 전 환을 목표로 하고 있다. 자외선경화 방식의 나노임프린트의 경우 상온 및 저압의 장점과 함께 비진공 환경에서 공정 이 가능하다면 진공챔버 및 고압 스테이지 등과 같은 고가의 장비가 필요 없게 됨으로써 설비비용을 낮추고 공정시 간을 단축하는데 큰 기여를 할 수 있다. 그러나 비진공 환경에서는 기포결함이 종종 발생하게 된다. 본 연구에서는 비진공 환경에서의 자외선경화 방식의 나노임프린트 공정 중 레지스트의 액적도포 방법에 따른 기포형성을 연구하였 다. 액적의 양과 액적의 수를 달리하여 도포한 레지스트에 대하여 충전 후 기포결함 발생을 분석하였다.
#Air bubble formation #Droplet volume #Non-vacuum environment #UV NIL #Dispensing method

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (14)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Chou, S. / 1997 / Imprint lithography with sub-10nm feature size and high throughput / Microelectronic Engineering 35 : 237 ~ 240 Crossref 2. [학술지(정기간행물)] - Guo, L. J. / 2004 / Recent progress in nanoimprint technology and its applications / J. Phys. D: Appl. Phys. 37 : R123 ~ R141 Crossref 3. [학술지(정기간행물)] - Kim, N. W / 2008 / Finite element analysis of low temperature thermal nanoimprint lithography using a viscoelastic model / Microelectronic Engineering 85 : 1858 ~ 1865 Crossref 4. [학술지(정기간행물)] - 이기연 / 2012 / 나노임프린트 공정에서의 충전과정과 잔류층 형성에 관한 연구 / 한국산학기술학회논문지 13 (9) : 3835 ~ 3840 dbpia 5. [학술지(정기간행물)] - Kim, N. W. / 2009 / A mathematical model for slip phenomenon in a cavity-filling process of nanoimprint lithography / Microelectronic Engineering 86 : 2324 ~ 2329 Crossref

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

나노임프린트 공정에서의 충전과정과 잔류층 형성에 관한 연구
이기연 ,  김국원 한국산학기술학회 논문지 2012 .09
UV - NIL공정의 기포형성에 대한 연구
이기연 ,  김국원 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2012 .10
아연말 코팅 룸 배기 시스템 개선에 관한 연구
이기연 ,  김국원 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2012 .10
나노임프린트 공정에서의 냉각방법 개선에 대한 수치해석
이기연 ,  김국원 ,  전상범 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2011 .10
흥인지문의 단순 구조모델 및 지진해석
민경원 ,  박성아 대한건축학회 논문집 - 구조계 2011 .04

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2018-505-001125127