온도 균일도 향상을 위한 대면적 서셉터의 설계 및 성능 시험

양학진; 김성근; 조중근

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자료유형: 학술저널

저자정보: 양학진 김성근 조중근

저널정보: 한국산학기술학회 한국산학기술학회 논문지 한국산학기술학회논문지 제16권 제6호

발행연도: 2015.6

수록면: 3,714 - 3,721 (8page)

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서셉터 히터에서 쉬스 열선을 사용하는 방법이 일반화되어 있지만, 대면적 초고온 조건에서는 서셉터의 온도 균일도 성능 저하의 문제가 있다. 본 연구에서는 온도균일도 성능을 향상시킬 수 있도록 판형 형태의 열선을 기본으로 새로운 서셉 터를 설계하여 프로토타입을 개발하였다. 표면 온도 450℃의 고온에서 1.4% 이내로 온도 균일도가 시제작된 서셉터에서 검 증될 수 있었다. 또한 온도 학습 데이터를 이용하여 측정 온도 데이터를 예측할 수 있는 커널 회귀 알고리즘을 개발하고, 이러한 예측 데이터와 측정 데이터의 비교 분석으로 균일도 측정 온도의 신뢰성을 확인할 수 있었다.

#Temperature Uniformity #Large-Area Susceptor #Performance Test #Kernel Regression. #Reliability

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[학술지(정기간행물)] - 양학진 / 2014 / 대면적 서셉터의 온도 균일도 검증 알고리즘 / 한국정밀공학회지 31 (10) : 947 ~ 954

[보고서] - S. K. Kim / 2014 / Development of High Performance Susceptor for Manufacturing of Display : 10 ~ 17

[기타자료] - Micro Tech Co. / 2005 / Structure for inserting heat wire of susceptor and method for the same / Patent No.1020050123734

[기타자료] - Jusung Engineering Co., Ltd. / 2013 / Plasma generator / No.US13/905,872

[기타자료] - Micro Tech Co. / 2006 / Main plate of susceptor / No.1020060024890

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