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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2006.5
- 수록면
- 203 - 206 (4page)
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The sensor consists of a heater, an insulating layer, a pair of contact electrodes, and CNT-sensing film on a micromachined diaphragm. The heater plays a role in the temperature change to modify sensor operation. Gas sensor responses of CNT-film to NO₂ at room temperature are reported. The sensor exhibits a reversible response with a time constant of a few minutes at thermal treatment temperature of 130℃.
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