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한국산학기술학회 한국산학기술학회 학술대회논문집 한국산학기술학회 2010년도 춘계학술발표대회 논문집 1부
발행연도
2010.5
수록면
153 - 155 (3page)

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실리콘 태양전지의 pn 접합 계면특성을 조사하기 위해서 p형 실리콘 기판 위에 전기로를 이용한 POCl3 공정을 통하여 n형의 불순물을 주입하여 pn접합을 만들었다. n형 불순물의 확산되어 들어가는 공정시간이 길고 공정온도가 높을수록 면저항은 줄어들었다. n형 불순물의 주입이 많아질수록 pn 접합 계면에서의 전자친화도가 줄어들면서 ... 전체 초록 보기

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