메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
김우재 (광운대학교) 권희태 (광운대학교) 신기원 (광운대학교) 황상혁 (광운대학교) 최진우 (광운대학교) 권기청 (광운대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2017년 한국진공학회 (제52회 동계정기학술대회 초록집)
발행연도
2017.2
수록면
232 - 232 (1page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (2)

2017

유도결합형 플라즈마 공정조건 변화에 따른 전자기장 전산모사와 플라즈마 방전 비교
김우재 ,  권희태 ,  신기원 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2017.02 학술대회자료

2016

유도 결합형 플라즈마 공정조건 변화에 따른 플라즈마 방전과 전자기장 시뮬레이션의 비교
김우재 ,  조태훈 ,  박혜진 외 5명 한국진공학회 학술발표회초록집 2016.02 학술대회자료

초록· 키워드

오류제보하기
등록된 정보가 없습니다.
#유도결합 플라즈마 #플라즈마 진단 #전자기장 시뮬레이션 #랑뮤어 프로브

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

서브도메인 방법을 이용한 축방향 자속 영구자석 기기의 전자기 특성 해석
양준원 ,  김경환 ,  김태성 외 3명 대한전기학회 학술대회 논문집 2023 .10
[Physical Review Focus] 다강성 물질이 스핀트로닉스의 판도를 바꾸다
송태권 물리학과 첨단기술 2022 .10
전자 빔 용접을 위한 진공전자 기술과 고전압 전원 기술
한성태 ,  손채화 ,  김형석 외 4명 대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집 2021 .05
산화물계 고체전해질을 이용한 전고체 전지 개발
남상철 ,  이인성 ,  노을 한국에너지기후변화학회 학술대회 2017 .05
디스플레이 공정용 유도 결합형 플라스마 시스템에서의 전자기적 특성 연구
오선근 ,  이영준 ,  김병준 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2014 .02

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2018-420-001188853