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N₂ 분위기에서 RF Magnetron Sputtering을 이용하여 제작된 TiAlNX박막의 열처리 온도에 따른 박막 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
DC 마그네트론 스퍼터링 증착법을 이용한 산화 티타늄 박막의 표면 형태와 조성 제어에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 이산화티타늄 박막의 표면 및 광학적 특성
새물리
2020 .07
구리 극박막 증착 기술에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
RF-마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 다층구조의 마그네타이트 에피 박막성장의 최적화에 대한 연구
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2015 .05
Characteristics of ZnS Thin Films Deposited by RF Magnetron Sputtering at Room Temperature for Buffer Layer Application in Thin Film Solar Cells
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
박막의 공정에 따른 박막의 전자기파 차폐 효과 연구
한국분석과학회 학술대회
2022 .11
증착 공정시 실시간 두께 측정 및 박막 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
[보호진공과학상] RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ZnO:Al 박막의 열공정에 따른 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
RF 마그네트론 스퍼터링 법으로 증착된 BiFeO₃-CoFe₂O₄ 나노복합체 박막의 자성 연구
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2017 .05
이원 동시 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 증착한 In-Sn-Zn-O 박막의 열전 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
증착온도에 따른 Fe 박막의 구조적, 자기적 특성 변화 연구
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2016 .11
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 SnS 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
증착 에너지의 변화에 따른 박막특성 분석 및 수직자기이방성 연구
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2016 .05
La0.88Sr0.12MnO₃ 박막의 증착 조건 및 물리적 특성 연구
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2016 .05
Effect of H₂S Mixed Gas on the Properties of SnS Thin Films and Solar Cells Prepared by RF Magnetron Sputtering
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
라디오파 마그네트론 스퍼터링으로 성장한 CaWO₄:Dy3+ 박막의 광학, 구조, 표면 특성
새물리
2023 .10
N₂ 분위기에서 RF magnetron sputtering 방법으로 증착된 TiN박막의 열처리 온도에 따른 내마모 특성 및 표면구조특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
RF 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 성장된 V₂O5 박막의 광학적 특성평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
RF magnetron sputtering과 O₂ plasma ashing 공정을 이용한 다공성 구조 박막 제작 및 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
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