자기베어링이 적용된 미세홀 가공용 드릴링 스핀들 개발

박철훈; 윤태광

doi:10.5050/KSNVE.2017.27.4.510

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자료유형: 학술저널

저자정보: 박철훈 (Korea Institute of Machinery & Materials) 윤태광 (Magnetar)

저널정보: 한국소음진동공학회 한국소음진동공학회논문집 한국소음진동공학회논문집 제27권 제4호(통권 제236호)

발행연도: 2017.8

수록면: 510 - 517 (8page)

DOI: 10.5050/KSNVE.2017.27.4.510

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For special materials such as tempered glass, ceramics and silicon, micro-holes less than 1 mm in diameter are generally machined through drilling using high speed spindles, but their productivity is very low due to slow machining speed. Further, when a plurality of fine holes are machined on a large-area wafer, if the machining drill is damaged and any machining failure occurs, the entire wafer becomes defective and the cost loss becomes large. In the field, maintenance costs are very high because drills are replaced periodically to avoid these defects. Applying a magnetic bearing to the spindle for micro-hole machining eliminates friction and wear between the bearing and the rotor, eliminating the need for bearing maintenance. In addition, the control current of the magnetic bearings can monitor the drill abrasion and machining conditions to prevent unconditional drill replacement, thus reducing maintenance cost and preventing machining failure. In this paper, we designed and fabricated 80 000 r/min micro-hole machining spindle equipped with magnetic bearings, and presented rotational and machining test results.

#Drilling Spindle(드릴링 스핀들) #Micro-hole Machining(미세홀 가공) #Magnetic Bearings(자기베어링)

참고문헌 (11)

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Park, C. H., Park, J. Y., 2016, Design and Experiment of 300-HP-Class Turbo Compressor with Hybrid Magnetic Bearings, The 15th International Symposium on Magnetic Bearings, T3A1, 10009. Park, C. H., Yoon, T. G. and Park, J. Y., 2015, Design of Magnetic Bearings for 200 HP Class Turbo Blower, The KSFM Journal of Fluid Machinery, Vol. 18, No. 6, pp. 5~11. Park, C. H., Choi, S. K. and Ham, S. Y., 2014, Design of Magnetic Bearings for Turbo Refrigerant Compressors, Mechanics & Industry, Vol. 15, No. 4, pp. 245~252. Park, C. H., Kim, S. H. and Kim, K. S., 2013, Vacuum Chamber-free Centrifuge with Magnetic Bearings, Review of Scientific Instruments, Vol. 84, No. 9, pp. 095106. Wroblewski, A. C., 2011, Model Identification, Updating, and Validation of an Active Magnetic Bearing High-Speed Machining Spindle for Precision Machining Operation, Cleveland State University.

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