에어로졸 증착 공정으로 제조된 ZnO, AZO, ITO 박막의 특성과 유연 내구성

이동원; 조명연; 이상헌; 김용남; 이대석; 구상모; 오종민

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이동원 (Korea Testing Laboratory) 조명연 (Kwangwoon University) 이상헌 (Korea Testing Laboratory) 김용남 (Korea Testing Laboratory) 이대석 (Kwangwoon University) 구상모 (Kwangwoon University) 오종민 (Kwangwoon University)

저널정보: 한국전기전자학회 전기전자학회논문지 전기전자학회논문지 제21권 제4호

발행연도: 2017.12

수록면: 404 - 407 (4page)

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에어로졸 증착 공정을 이용하여 ZnO, AZO 및 ITO 막을 증착하고 코팅막의 미세구조, 광학적 및 전기적 특성을 연구하였다. 상온에서 PET 기판 위에 약 400 nm의 두께를 가지는 ZnO, AZO 및 ITO 막을 성공적으로 제조할 수 있었으며 캐리어 가스 유량이 증가하면서 ZnO, AZO 및 ITO 막의 광학적 특성 및 전기적 특성이 향상되었다. 기계적인 유연 내구성 시험에 있어 ZnO 막은 5,000회의 굽힘에도 파괴가 발생하지 않은 반면 AZO 및 ITO 막은 5000회 굽힘 시험 후 막의 파괴가 발생하고 투과도 및 저항의 성능이 저하되었다. 결론적으로 AZO 및 ITO 막의 성능은 ZnO 막에 비하여 약간 열세이나, 입자크기 제어 및 공정 최적화를 통해 성능을 향상시킬 수 있을 것으로 판단된다.

#ZnO #AZO #ITO #Aerosol deposition #Bending fatigue test

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[학술지(정기간행물)] - Jonathan K. Wassei / 2010 / Graphene, a promising transparent conductor / Materials Today 13 (3) : 52 ~ 59

[학술지(정기간행물)] - D. Horwat / 2007 / Effects of substrate position and oxygen gas flow rate on the properties of ZnO: Al films prepared by reactive co-sputtering / Thin Solid Films 515 (13) : 5444 ~ 5448

[학술지(정기간행물)] - Kwang-Ho Lee / 2013 / All-Solution-Processed Transparent Thin Film Transistor and Its Application to Liquid Crystals Driving / Advanced Materials 25 (23) : 3209 ~ 3214

[학술지(정기간행물)] - Jun Akedo / 2006 / Aerosol Deposition of Ceramic Thick Films at Room Temperature: Densification Mechanism of Ceramic Layers / Journal of the American Ceramic Society 89 (6) : 1834 ~ 1839

[학술지(정기간행물)] - Dong-Won Lee / 2011 / Growth Process of α-Al2O3 Ceramic Films on Metal Substrates Fabricated at Room Temperature by Aerosol Deposition / Journal of the American Ceramic Society 94 (9) : 3131 ~ 3138

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