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이동원 (Korea Testing Laboratory) 이상헌 (Korea Testing Laboratory) 김용남 (Korea Testing Laboratory) 이희수 (Pusan National University) 이성철 (Winner Technology) 구상모 (Kwangwoon University) 오종민 (Kwangwoon University)
저널정보
한국전기전자학회 전기전자학회논문지 전기전자학회논문지 제21권 제3호
발행연도
2017.9
수록면
252 - 255 (4page)

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고온자전합성과 후열처리 공정으로 Mo<SUB>x</SUB>W<SUB>1-x</SUB>Si₂ 발열체를 제조하였다. Mo<SUB>x</SUB>W<SUB>1-x</SUB>Si₂ 발열체의 신뢰성을 검증하기 위해 가속수명시험을 수행하였으며, 수명시간을 Minitab 프로그램으로 추정하였다. 또한, 가속수명시험 후의 Mo<SUB>x</SUB>W<SUB>1-x</SUB>Si₂ 발열체의 고장분석을 전기적과 구조적 특성으로부터 수행하였다. 그 결과, Mo<SUB>x</SUB>W<SUB>1-x</SUB>Si₂ 발열체의 지배적인 고장 유형은 발열체 내부의 크랙 형성과 SiO₂ 보호층의 박리임을 확인하였다.
#Mo< #SUB> #x< #/SUB> #W< #SUB> #1-x< #/SUB> #Si₂ #Heater #SHS #Accelerated life test #Failure analysis

목차

Abstract
요약
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 본론
Ⅲ 결론
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