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노광장비에서의 고효율 전자빔 응용 기술 현황
한국공작기계학회지
2008 .09
X-선 노광용 마스크 제작에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
선택적 경사 노광과 후면 노광에 의한 3차원 구조물의 제작
전기학회논문지 C
2004 .01
광노광을 위한 투영광학계의 기술분석
[ETRI] 전자통신동향분석
1990 .06
하이브리드 자외선 노광법을 이용한 3차원 고종횡비 미소구조물 제작
대한기계학회 논문집 A권
2016 .08
투영노광장치용 고속.고정밀 Stage계의 연구동향
[ETRI] 전자통신동향분석
1990 .03
초 LSI시대의 최신 노광장치 기술
전자진흥
1983 .01
스텝 엔드 리피트 투영노광방식의 미세형상 선폭조절에 관한 연구 ( The Study on the Control of Pattern Linewidth for the Step and Repeat Projection Imaging )
전자공학회지
1985 .07
고성능 미세스텝 구동회로의 개발
전력전자학회논문지
1997 .09
스텝모터의 진동 저감을 위한 마이크로 스텝 구동에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
1997 .05
스텝모터의 진동 저감을 위한 마이크로 스텝 구동에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1996 .06
193-nm 노광장비개발 ( 193-nm Exposure Tool Development )
대한전자공학회 워크샵
1996 .01
A Study on Micro-step of2-phase Hybrid Type Linear Stepping Motor
전기학회논문지 B
2000 .05
하이브리드 스텝 모터의 시뮬레이션
대한전자공학회 학술대회
1986 .01
평판디스플레이 노광장비용 초박형 마스크스테이지 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2004 .05
하이브리드 노광법의 광학 모델링 개발 및 분석
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .04
2상 하이브리드형 스텝 모터의 미세 스텝 구동에 관한 연구 ( A Study on a Microstepping Drive for 2 Phase Hybrid-Type Step Motors )
대한전자공학회 학술대회
1989 .01
PM 스텝 모터의 개선된 마이크로 스텝 구동
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .07
2상 하이브리드 스텝 모터의 미세스텝 구동에 의한 성능향상
전기학회논문지
1996 .08
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