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자료유형
학술저널
저자정보
K. Karthikeyan (Rajalakshmi Engineering College) L. Sujatha (Rajalakshmi Engineering College) R. Sundar (Rajalakshmi Engineering College) S. K. Sharma (Dongguk University-Seoul)
저널정보
대한전자공학회 JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE Journal of Semiconductor Technology and Science Vol.18 No.2
발행연도
2018.4
수록면
262 - 269 (8page)
DOI
10.5573/JSTS.2018.18.2.262

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In this paper, we discuss about critical issues in fabrication of polymer microfluidic devices which affect the dimensions of the microchannel and hence the volumetric analysis of the fluids. The optical and thermal properties of the materials used in the fabrication of devices determine the final structural dimensions and the reliability of the fabricated devices. A clear understanding of material properties and their effect on the dimensional variations of microfluidic devices during fabrication are essential in different applications such as micro dispensers, micro pump, micro mixers and micro reactors. It is possible to obtain microfluidic devices with perfect dimensions by carrying out the fabrication processes with perfect timing control and precisely controlled temperature during fabrication. This paper focuses on the dimensional stability of SU8 prime mould with respect to UV exposure time, effect of temperature on PDMS replicas and the effective sealing of the device by adhesive bonding.
#Microfabrication #temperature stability #sidewall angle #PDMS #microfluidic device

목차

Abstract
I. INTRODUCTION
II. FABRICATION PROCESS
III. RESULT AND DISCUSSION
IV. CONCLUSIONS
REFERENCES

참고문헌 (35)

참고문헌 신청
Cheuk-Wing Li, et al, “PDMS-based microfluidic device with multi-height structures fabricated by single-step photolithography using printed circuit board as masters”, Analyst, Vol. 128, pp. 1137- 1142, 2003. Teruo Fujii, et al, “PDMS-based microfluidic devices for biomedical applications”, Microelectronic Engineering, Vol. 61, pp. 907-914, 2002. Ciprian Iliesu, et al, “A practical guide for the fabrication of micro-fluidic devices using glass and silicon”, Biomicro-fluidics, Vol. 6, pp. 016505-16, 2012. A. Sayah, et al, “Elastomer mask for powder blasting microfabrication”, Sensors and Actuators A, Vol. 125, pp. 84-90, 2005. J. Zhang et al, “Rapid replication of metal microstructures using micro-powder hot embossing process, Int. J. Adv. Manuf. Technol., pp. 1-15, 2014.

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