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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2018.6
- 수록면
- 182 - 187 (6page)
- DOI
- 10.7735/ksmte.2018.27.3.182
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We developed a continuous nanopattern manufacturing system that realizes a high-frequency vibrational indentation of a simple flat-edge rigid tool onto a horizontal-feeding polymer substrate with computer-based control. We first designed a process principle and its implementation modules, and subsequently constructed a system prototype. By controlling the tool vibration frequency and indenting force as well as the substrate feeding speed and stroke direction, we can create diverse nanopatterns with various periods and shapes including periodtunable nanogratings and multidimensional nanostructures. Such manufactured nanopatterns may be utilized in many potential applications involving precision machinery components, displays and light sources, sensors and actuators, and flexible electronics and photonics, all of which require tunable periods and shapes.
목차
ABSTRACT
1. 서론
2. 진동압입 나노패턴 제조 공정 원리
3. 진동압입 나노패턴 생산 시스템 설계 구축
4. 진동압입 나노패턴 생산 시스템 운용을 통한 나노패턴 제조
5. 결론
References
참고문헌 (11)
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[학술지(정기간행물)] - Seo, J. H. / 2014 / Nanopatterning by Laser Interference Lithography: Applications to Optical Devices / J. Nanosci. and Nanotech. 14 (2) : 1521 ~ 1532
[학술지(정기간행물)] - Ok, J. G. / 2015 / A Step Toward Next-generation Nanoimprint Lithography: Extending Productivity and Applicability / Appl. Phys. A 121 (2) : 343 ~ 356
[학술지(정기간행물)] - Xu, Y. H. / 2016 / Lab-on-paper Micro- and Nano-analytical Devices: Fabrication, Modification, Detection and Emerging Applications / Microchimica Acta 183 (5) : 1521 ~ 1542
[학술지(정기간행물)] - Paik, T. / 2017 / Hierarchical Materials Design by Pattern Transfer Printing of Self-Assembled Binary Nanocrystal Superlattices / Nano Lett. 17 (3) : 1387 ~ 1394
[학술지(정기간행물)] - Zhang, C. / 2016 / Printed Photonic Elements: Nanoimprinting and Beyond / J. Mater. Chem. C. 4 (23) : 5133 ~ 5153
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