마이크로 공정을 이용한 테라헤르츠 첨단 진공 소자 개발 현황 및 향후 전망

Q: 이 논문에서 정의한 테라헤르츠(THz)란 무엇인가?

전자기파 스펙트럼에서 0.3~3×10¹² Hz의 주파수 대역을 가지는 영역을 의미한다. 이는 이미징, 의료, 통신, 보안 등 다양한 산업 및 과학 응용 분야에 폭넓게 활용될 수 있는 특성을 가진 전자기파 대역이다.

Q: 마이크로 공정 기술이 테라헤르츠 진공 소자의 성능 구현에 어떤 영향을 미치는가?

연구 결과, UV-LIGA, DRIE, Nano-CNC Machining과 같은 정밀 공정 기술은 고종횡비의 미세 구조 제작을 가능하게 하여, 주파수 대역에 따라 수십 mW에서 수백 W에 이르는 고출력 테라헤르츠 신호 발생 및 증폭 성능을 구현하는 핵심 요인이 된다.

이인근; 최은미

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