Micro/nano Mechanical Machining Technique Based on the Normal Force Control

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저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 Proceedings of the International Conference of Manufacturing Technology Engineers (ICMTE) 2018

이용수

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#Atomic Force Microscope #Micro/nano machining #Normal force control

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Yong-Da Yan

소속기관 Harbin Institute of Technology

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
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	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

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