CNT/폴리머 압저항 단일 매질을 이용한 압력분포 및 하중벡터 측정 센서

이왕주; 오현우; 허재두

doi:10.7840/kics.2018.43.10.1718

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저자정보: 이왕주 (Electronics and Telecommunications Research Institute) 오현우 (Electronics and Telecommunications Research Institute) 허재두 (Electronics and Telecommunications Research Institute)

저널정보: 한국통신학회 한국통신학회논문지 한국통신학회논문지 제43권 제10호

발행연도: 2018.10

수록면: 1,718 - 1,723 (6page)

DOI: 10.7840/kics.2018.43.10.1718

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CNT/PDMS 기반의 압저항 물질을 제작하고 바이어스선과 리드선의 배선으로 단일 매질을 일정한 간격의 센싱구역으로 분할하여 압력분포 측정을 하였다. 이때 각 센싱 구역은 물리적으로 연결되어 있어 기생 전류에 의한 간섭 오차가 발생하므로 바이어스 전류 제한 홀과 전류 블록킹 라인을 추가하여 제거함으로써 기존 배열형 분포 센서와 같은 분포 측정 성능을 얻을 수 있었다. 또한 압력 분포 센서에 하중이 경사져서 작용할 때 이를 인접한 센싱 셀 간의 출력 신호 차이로 변환하는 피라미드형 트랜스듀스를 제작하여 하중 벡터 추출 가능성을 검증하였다.

#CNT #PDMS #single piezo-resistive material #pressure distribution #load vector

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C. H. Je, C. A. Choi, S. Q. Lee, and W. S. Yang, “MEMS pressure sensor technology and industry trends,” Electron. and Telecommun. Trends, vol. 30, no. 6, pp. 21-30, Dec. 2015. M. Amjadi. Y, J. Yoon, and I. Park, “Ultra-stretchable and skin-mountable strain sensors using carbon nanotubes-Ecoflex nanocomposites,” NanoTech. vol. 26, No. 37, 375501, 2015. doi:10.1088/0957-4484/26/37/375501 J. S. Kim and G. W. Kim, “Hysteresis compensation of piezoresistive carbon nanotube/ polydimethylsiloxane compositebased force sensors,” Sensors 2017, 17(2), 229; doi:10.3390/s17020229 H. Lee, D. Kwon, H. Cho, I. Park, and J. Kim, “Soft Nanocomposite Based Multipoint, Multi-directional Strain Mapping Sensor Using Anisotropic Electrical Impedance Tomography,” Scientific Reports vol. 7, Article number: 39837 (2017) K. S. Sohn, J. Chung, M. Y. Cho, S. Timilsina, W. B. Park, M. Pyo, N. Shin, K. Sohn, and J. S. Kim, “An extremely simple macroscale electronic skin realized by deep machine learning,” Scientific Reports, vol. 7, Article number: 11061 (2017)

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