3차원 임피던스/온도 통합 센서의 특성

박준희; 유태균; 이지승; Sulfan Md Tipu; 박찬흠; 장문규

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저자정보: 박준희 (Hallym University) 유태균 (Hallym University) 이지승 (Hallym University) Sulfan Md Tipu (Hallym University) 박찬흠 (Hallym University) 장문규 (Hallym University)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2018년 한국진공학회 (제55회 하계정기학술대회 초록집)

발행연도: 2018.8

수록면: 215 - 215 (1page)

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