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자료유형
학술저널
저자정보
이태홍 (Osan University) 맹희영 (Seoul National University of Science and Technology)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국생산제조학회지 Vol.28 No.1
발행연도
2019.2
수록면
17 - 22 (6page)
DOI
10.7735/ksmte.2019.28.1.17

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In order to realize nano processing technology using ion beam, it must be accumulated the design of nano-fabrication system, ion focusing mechanism, measurement technology, fabrication of nano-stage and nano tilting device, and processing technology, etc. In this study, three FIB, FE-SEM, and nano-stage components were stored to design the FIB and FE-SEM systems in an integrated structure with a balanced way. The test specimen adopts a design method for the structure that is connected through the tunnel between the chambers. In order to evaluate the influence of the center of gravity, static analysis, and modal analysis on the static and dynamic accuracy of the combined machine.
#Focused Ion Beam (FIB) #Field Emission SEM (FE-SEM) #Nano-stage and table #Static and dynamic analysis #Compound fabricated system

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 기본 해석 조건과 모델링
3. 통합 시스템의 무게 중심 위치
4. 통합 시스템의 정적 해석 결과
5. 통합 시스템의 모달 해석 결과
6. 결론
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