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학술저널
저자정보
백승현 (Kumoh National Institute of Technology) 권승갑 (Kumoh National Institute of Technology) Liyana Hazawani Biniti Zamri (Kumoh National Institute of Technology) 강인구 (Kumoh National Institute of Technology) 강봉철 (Kumoh National Institute of Technology)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국생산제조학회지 Vol.28 No.1
발행연도
2019.2
수록면
37 - 41 (5page)
DOI
10.7735/ksmte.2019.28.1.37

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Silicon is used as an essential material in the electronic and energy industries owing to its high accessibility and inherent semiconducting properties. Typically, silicon devices are produced by top-down chemical etchings, such as anisotropic etching and reactive ion etching, to make micropatterns and surface textures. In addition, doping using thermal diffusion or ion implantation is also required to optimize electrical characteristics. We propose a one-step method for fabricating multi-scale silicon layer based on the concurrent interaction of doping of silver nanoparticles during laser-induced sintering of silicon nanocrystals. The silver-doped silicon patterns were characterized by a uniform distribution and the concentration of dopants was easily adjustable by controlling the relative amount of silver nanoparticles. We expect that this method will contribute to fabricating multi-scale silicon semiconductors without using complicated chemical and vacuum processes.
#Silicon process #Multi-scale structure #Silicon nanocrystal #Silver nanoparticle #Laser doping

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References

참고문헌 (18)

참고문헌 신청
Rojas, J. P. / 2014 / Transformational Silicon Electronics / ACS Nano 8(2):1468~1474 google schola Hosenuzzaman, M. / 2015 / Global Prospects, Progress, Policies, and Environmental Impact of Solar Photovoltaic Power Generation / Renew. Sust. Energ. Rev 41:284~297 google schola 이후승 / 2016 / 레이저 조사에 따른 실리콘 솔라셀의 출력 특성 / 한국생산제조학회지 25(5):362~367 dbpia Sun, L. / 2017 / Room-Temperature Solution Synthesis of Mesoporous Silicon for Lithium Ion Battery Anodes / ACS Appl. Mater. Interface 9(46):40386~40393 google schola Lin, V. S. Y. / 1997 / A Porous Silicon-based Optical Interferometric Biosensor / Science 278(5339):840~843 google schola

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